Dresden – Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS hat gemeinsam mit der DIVE imaging systems GmbH ein hochmodernes optisches Messsystem entwickelt, das die Halbleiterproduktion ressourcenschonender und effizienter macht. Das Projekt „NEST“ zeigt: Mit dem neuen Screeningtool lassen sich nicht nur Prozessabweichungen frühzeitig erkennen, sondern auch CO₂-Emissionen massiv reduzieren.

Hoher Aufwand, hohe Einsparung

In der Halbleiterfertigung entfallen bisher fast die Hälfte aller Prozessschritte auf Kontrollen – oft mit zusätzlichen Kontrollwafern. Mithilfe der DIVE-Technologie kann dieser Aufwand drastisch reduziert werden. Laut Projektanalyse lassen sich durch den Einsatz des neuen Messsystems bis zu 25 % der Kontrollwafer sowie rund 118.000 Kilogramm CO₂ pro Monat einsparen.

Das eingesetzte DIVE VEpioneer®-System kombiniert optische Spektroskopie mit KI-gestützter Bildgebung und kann innerhalb von 20 Sekunden Materialabweichungen auch in tieferen Schichten erfassen – ein großer Schritt in Richtung automatisierte Qualitätskontrolle.

Erfolgreicher Praxistest am Fraunhofer IPMS

Das System wurde erfolgreich im Reinraum des Fraunhofer IPMS installiert und soll dort auch nach Projektabschluss weiter genutzt werden. Die Ergebnisse zeigen, dass durch die neue Technologie nicht nur weniger Ausschuss produziert wird, sondern auch Wasser, Chemikalien und Energie eingespart werden.

„Mit der Unterstützung des Fraunhofer IPMS ist diese Technologie nun für den industriellen Einsatz verfügbar – und ermöglicht enorme Produktivitätssteigerungen“, erklärt Martin Landgraf vom Fraunhofer IPMS.

Dank der Übernahme von DIVE durch die PVA TePla AG stehen dem Start-up nun auch neue Entwicklungsmöglichkeiten offen, insbesondere im Bereich Automatisierung und Datenschnittstellen.